Apreo 2 SEM掃描電鏡如何提高圖像的分辨力

　　Apreo 2 SEM掃描電鏡可以獲得高分辨率和真實(shí)的厚樣品形貌掃描電子顯微鏡的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，但在比較厚樣品的觀察時(shí)，由于透射電子顯微鏡也采用層壓法，層壓的分辨率通常只有10nm，而且觀察的不是樣品本身。因此，用掃描電鏡觀察厚樣品，獲得樣品的真實(shí)表面數(shù)據(jù)更為有利。
 

　　為提高Apreo 2 SEM掃描電鏡圖像的分辨力，常采用的途徑和方式有下列幾種。
 

　　(1)在物鏡的極靴附近加設(shè)一個(gè)特殊的附加靜電裝置，用來(lái)同時(shí)匯集一次電子并提取二次電子，再加上物鏡頂部環(huán)形探測(cè)器接收的面積大，靈敏度高，在短工作距離下能明顯改善圖像的信噪比和提高分辨力。
 

　　(2)采用透鏡內(nèi)探測(cè)器或安裝在物鏡上方的探測(cè)器(TLD-SED)，都能明顯改善低加速電壓和短工作距離時(shí)的圖像信噪比和分辨力。在WD較小時(shí)，不僅可以減小物鏡球差和消除傳統(tǒng)E-T探測(cè)器前端柵網(wǎng)上加速電位帶來(lái)的影響，而且它接收到的幾乎都是在入射束照射下直接產(chǎn)生的二次電子，排除了背散射電子等其他信號(hào)所產(chǎn)生的次生或間接的二次電子，因而有助于提高圖像分辨力。
 

　　(3)利用高亮度的場(chǎng)發(fā)射電子槍來(lái)作電子源的陰極以提高束流密度，從而提高亮度。
 

　　(4)縮短工作距離，既可以相對(duì)增大信號(hào)量、提高信噪比，又可以減小像差，也就是把試樣盡量移近物鏡極靴，這類似于光學(xué)顯微鏡中的短焦距“浸沒(méi)透鏡”方式。物鏡的極靴區(qū)是獲得高分辨圖像的有效部位但由于該處的空間很小，一般只有毫米級(jí)的試樣才能進(jìn)得去，而且試樣的移動(dòng)范圍很小，操作起來(lái)要格外小心，否則容易“四處碰壁”。這種模式由于焦距短，束斑受外界的影響小，像差也小，且能進(jìn)入到該區(qū)域的試樣座也要小，小樣品臺(tái)的穩(wěn)定性相對(duì)會(huì)比較好，所以在該區(qū)域拍攝的照片，其圖像分辨力能得到明顯提高。
 

　　(5)使用強(qiáng)磁透鏡，這是在透射電鏡中裝上附加的掃描附件，使試樣發(fā)出的二次電子在強(qiáng)磁場(chǎng)中被檢測(cè)、收集成像，即利用透射電鏡的掃描附件做出掃描電鏡才能完成的二次電子像，而且這種二次電子像的分辨力往往優(yōu)于同類電子槍的專業(yè)掃描電鏡。